400-6505-735
<label id="7gntx"></label> 產品參數
產品詳情
產品特點
◆ 7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面，自動控制監測工藝參數狀態，20 個配方程序，工藝數據可存儲追溯。
◆ PLC 工控機控制整個清洗過程，手動、自動兩種工作模式。
◆ 真空艙體、全真空管路系統采用 316 不銹鋼材質，耐腐蝕無污染。
◆ 采用防腐數字流量計， 實現對氣體輸入精準控制。標配雙路氣體輸送系統， 可選多氣路氣體輸送系統， 可輸入氧氣、氬氣、 氮氣、四氟化碳、氫氣或混合氣等氣體。
◆ 采用花灑式多孔進氣方式，改變單孔進氣不均勻問題。
◆ HEPA 高效過濾，氣體返填吹掃，防止二次污染。
◆ 符合人體功能學的 60 度傾角操作界面設計，操作方便，界面友好。
◆ 采用頂置真空艙，上開蓋設計，下壓式鉸鏈開關方式。
◆ 上置式 360 度水平取放樣品設計，符合人體功能學，操作更方便。
◆ 有效處理面積大，可處理最大直徑 154mm 晶元硅片。
◆ 安全保護，艙門打開，自動關閉電源，機器運行、停止提示。
2024-07-26 
推薦產品
400-6505-735
CIF微信服務號
CIF抖音號
版權所有 ? 華儀行（北京）科技有限公司 Al Rights Reseved 備案號：京ICP備14024388號-2
技術支持：化工儀器網 管理登陸 Sitemap.xml
掃碼添加微信<label id="7gntx"></label>